扫描射流掩膜电解加工微坑阵列试验研究

Experimental Study on Electrode Machining of Micro-Pit Arrays by Scanning Jet Mask

庄怀印 ¹郭钟宁 ¹吴明 ¹王俊杰¹

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作者信息

1. 广东工业大学机电工程学院,广东广州 510006
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摘要

表面织构在摩擦学、热能交换以及生物医学等许多领域发挥重要作用,其中微坑阵列是常用的表面织构.为了能在金属表面制造出微坑织构,对掩膜电解加工微坑阵列的文献进行了研究与分析,在分析了射流掩膜电解加工技术的基础上,提出使用一种扫描射流掩膜电解加工的方法,利用光刻胶做掩膜,成功地在不锈钢上加工出海量微坑阵列.设计实验,探究了电压、扫描速度对微坑尺寸、深径比、侧蚀系数和一致性的影响规律.最后,优选实验参数,用加工电压30V、描速度2mm/s加工出22500个微坑阵列.

关键词

掩膜电解/微坑阵列/扫描射流/微米级

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基金项目

国家自然科学基金(51575113)

出版年

2022

机械设计与制造

辽宁省机械研究院

机械设计与制造

CSTPCD北大核心

影响因子：0.511

ISSN：1001-3997

参考文献量6

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