摘要
硅片多线切割是硅片生产中一个重要环节,传统的多线切割设备是采用游离砂浆式切割,这种切割方式效率低、成本高.而用于光伏行业的金刚线切割方式出片率高,绿色环保.但由于集成电路行业对硅片质量要求高,且金刚石切割设备价格昂贵,故还未广泛使用.因此,将砂浆切割设备改造成金刚石多线切割设备,并运用数据挖掘方法对切割过程数据进行分析,预测切割质量,反馈、优化关键参数.实验结果表明,改造金刚线设备切割的硅片TTV、Warp、Bow均优于传统砂浆切割.通过设备改造和参数优化,能更好地提高生产效率,保证生产质量,对硅片金刚线切割设备国产化具有重要的指导意义.
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