高速超精密气浮电主轴性能测试实验装置研究

Research on the Performance Inspection Device of High Speed and High Precision Aerostatic Spindle

李运堂 ¹廖佳文 ¹陈卫宇 ¹周重建¹

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作者信息

1. 中国计量大学机电工程学院,浙江杭州 310018
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摘要

基于电磁加载稳定且可调可控等优点,提出了电磁非接触式加载高速超精密气浮电主轴性能检测方案.通过仿真和实验确定电磁力与励磁电流、加载距离、加载盘直径、主轴转速之间的关系,优化了电磁铁结构和参数,得到了满足实验要求的电磁铁.结合高精度三维力传感器、激光位移传感器、加速度传感器搭建了主轴性能检测实验平台并开展了相关实验.结果表明:动态电磁力与励磁电流成正比,与主轴转速和加载距离成反比,实验与仿真结果一致,验证了方案的可行性.

关键词

非接触式加载/高速超精密气浮电主轴/承载能力/性能检测

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基金项目

&&(51675498)

出版年

2023

机械设计与制造

辽宁省机械研究院

机械设计与制造

CSTPCD北大核心

影响因子：0.511

ISSN：1001-3997

参考文献量7

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