机械设计与制造2023，Vol.389Issue(7) ：61-64.

织构和涂层改善表面黏附性能的试验研究

Experimental Investigation of Texturing and Coating on Improving the Surface Adhesive Characteristics

张玉言 吴梦洁 韩欣 华洁
机械设计与制造2023，Vol.389Issue(7) ：61-64.
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织构和涂层改善表面黏附性能的试验研究

Experimental Investigation of Texturing and Coating on Improving the Surface Adhesive Characteristics

张玉言 1吴梦洁 1韩欣 1华洁1
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作者信息

  • 1. 南京林业大学机械电子工程学院,江苏南京 210037
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摘要

通过电感耦合等离子体刻蚀技术和磁控溅射制膜技术制备了具有圆柱状织构和类金刚石DLC涂层的硅片样品,使用原子力显微镜和三维表面轮廓仪表征了样品表面的形貌特征,基于原子力显微镜并采用胶状探针考察了织构和涂层样品表面的黏附行为.结果表明:织构化样品表面的黏附作用显著依赖于探针和样品表面之间的接触位置,且在织构间距相同时,织构直径越大,黏附力变化的偏差越大;圆柱状织构和DLC涂层均能减小硅片表面的黏附力,但圆柱状织构的减黏效果显著高于DLC涂层;表面织构和低表面能涂层的组合是减小黏附的推荐方式.

关键词

黏附/织构/涂层/原子力显微镜

Key words

Adhesion/Texture/Coating/AFM

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基金项目

国家自然科学基金(51805269)

南京林业大学青年创新基金(CX2017007)

出版年

2023
机械设计与制造
辽宁省机械研究院

机械设计与制造

CSTPCD北大核心
影响因子：0.511
ISSN：1001-3997
参考文献量3
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