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MPCVD金刚石薄膜设备冷却水温控系统的设计

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为了解决MPCVD设备运行时冷却水手动调节方式存在的弊端,实现冷却水温的自动调节,设计了一种冷却水温度控制系统.该系统以STM32单片机为控制器的核心,步进电机为执行机构,采用BP神经网络PID控制算法.对系统进行了仿真和试验验证,结果表明:该系统能够实现MPCVD设备生产制备金刚石薄膜过程中冷却水温度的自动控制,与传统的PID控制相比,系统采用BP神经网络PID控制算法时超调量更小,控制精度更高,均方根误差和平均绝对误差更小,具有更好的温度控制效果.
Design of Cooling Water Temperature Control System for MPCVD Diamond Film Equipment

MPCVD EquipmentCooling Water TemperatureAutomatic ControlSTM32 ControllerIncre-mental PIDBP Neural Network

岳云峰、任天平、朱振伟

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郑州大学机械与动力工程学院,河南 郑州 450001

河南机电职业学院机电工程学院,河南 郑州 450001

MPCVD设备 冷却水温度 自动控制 STM32控制器 增量式PID BP神经网络

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20B460005

2023

机械设计与制造
辽宁省机械研究院

机械设计与制造

CSTPCD北大核心
影响因子：0.511
ISSN：1001-3997
年,卷(期)：2023.(8)
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