机械设计与制造2023，Issue(8) ：190-194.

MPCVD金刚石薄膜设备冷却水温控系统的设计

Design of Cooling Water Temperature Control System for MPCVD Diamond Film Equipment

岳云峰 任天平 朱振伟
机械设计与制造2023，Issue(8) ：190-194.
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MPCVD金刚石薄膜设备冷却水温控系统的设计

Design of Cooling Water Temperature Control System for MPCVD Diamond Film Equipment

岳云峰 1任天平 1朱振伟2
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作者信息

  • 1. 郑州大学机械与动力工程学院,河南 郑州 450001
  • 2. 郑州大学机械与动力工程学院,河南 郑州 450001;河南机电职业学院机电工程学院,河南 郑州 450001
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摘要

为了解决MPCVD设备运行时冷却水手动调节方式存在的弊端,实现冷却水温的自动调节,设计了一种冷却水温度控制系统.该系统以STM32单片机为控制器的核心,步进电机为执行机构,采用BP神经网络PID控制算法.对系统进行了仿真和试验验证,结果表明:该系统能够实现MPCVD设备生产制备金刚石薄膜过程中冷却水温度的自动控制,与传统的PID控制相比,系统采用BP神经网络PID控制算法时超调量更小,控制精度更高,均方根误差和平均绝对误差更小,具有更好的温度控制效果.

关键词

MPCVD设备/冷却水温度/自动控制/STM32控制器/增量式PID/BP神经网络

Key words

MPCVD Equipment/Cooling Water Temperature/Automatic Control/STM32 Controller/Incre-mental PID/BP Neural Network

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基金项目

&&(20B460005)

出版年

2023
机械设计与制造
辽宁省机械研究院

机械设计与制造

CSTPCD北大核心
影响因子：0.511
ISSN：1001-3997
参考文献量7
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