压电能量收集是近年来研究的热点话题,为了优化ZnO压电薄膜结构,提高其输出电压值,采用磁控溅射法进行制备并对其晶向结构进行表征.同时,利用有限元软件ANSYS分析ZnO压电微悬臂梁结构尺寸变化对输出电压的影响并得出振动频率、加速度激励与输出电压之间的关系.结果表明,制备的ZnO纳米薄膜表面成型质量较好,具有衍射峰(002)择优取向方向生长.增大振子长度、减小宽度及选取适合的厚度能够提高输出电压.当加速度2.5 g,频率500 Hz下输出电压最大为0.589 V.
Preparation of ZnO Piezoelectric Thin Films and Analysis of Piezoelectric Simulation Characteristics
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