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蓝宝石衬底晶圆上片工艺及智能化装备的研制

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分析了蓝宝石衬底晶圆上片工艺现状,并结合工艺控制要求,提出了蓝宝石衬底晶圆上片工艺和装备智能化改造方案,设计研制了一种双工位智能化上片工艺装备,该装备采取三轴伺服控制并配合伯努力吸盘实现晶圆无损精准抓取,机器视觉技术配合机器人实现晶圆精准定位和自动装盘,并设计晶圆载具开合、锁紧机构以及升降式载具料筐,实现载具的供给、开合、锁紧、入库等动作.通过样机试验发现,装备功能和工艺精度均取得了良好的效果,满足使用要求,提高了生产效率,从根源解决了因人工操作可靠性和一致性难以保证而引起的晶圆质量问题.
Research and Development of Sapphire Substrate Wafer Loading Process and Intelligent Equipment

王晓明、栾庆聪、郭明灿、黄永华

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山东科技职业学院 机械工程系,山东 潍坊 261053

潍坊明哲智能科技有限公司,山东 潍坊 261021

晶圆 取片机构 视觉寻边机构 载具开合机构 锁紧机构

2020年潍坊市科学技术发展计划

2020GX054

2023

10.16576/j.ISSN.1007-4414.2023.02.043

机械研究与应用
甘肃省机械科学研究院

机械研究与应用

影响因子：0.267
ISSN：1007-4414
年,卷(期)：2023.36(2)
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