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硅片多丝切割技术的工艺研究
硅片多丝切割技术的工艺研究
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中文摘要:
随着世界范围能源供应的日趋紧张和太阳能光伏产业的飞速发展,对硅片切割加工能力和硅片产能提出了更高的要求.论述了常见的硅片切割的方法,对硅片切割影响因素和多丝切割技术等工艺问题进行了探讨.
外文标题:
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作者:
郑小军、肖俊建、吴军
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作者单位:
衢州学院机械工程学院 浙江衢州 324000
关键词:
多丝切割
影响因素
工艺研究
基金:
浙江省衢州市科技计划项目
项目编号:
2013Y006
出版年:
2015
机械制造
上海市机械工程学会
机械制造
影响因子:
0.211
ISSN:
1000-4998
年,卷(期):
2015.
53
(2)
被引量
2
参考文献量
5