激光干涉光刻制备周期性可变尺寸的金纳米粒子

郝博¹

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作者信息

1. 长春理工大学理学院
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摘要

本文通过激光干涉图案化(LIP)方法在硅表面上制备周期性可变尺寸的金纳米粒子。通过离子溅射将30nm厚的金薄膜沉积在抛光硅表面，并且使用双光束激光干涉方法在表面图案化。然后，通过干涉照射，周期性可变尺寸的金纳米粒子在干涉区域内自组装。只有在合适的激光强度下才能够获得显著的尺寸变化。并且通过加大激光强度，在抛光硅表面制备出了方形晶格。实验结果表明，周期性可变尺寸的金纳米粒子可以通过激光干涉图案化的方法得到，并且还可以在硅表面得到方形格子结构

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出版年

2018

建筑工程技术与设计

影响因子：0.156

ISSN：

参考文献量1

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