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浅析MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用
浅析MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用
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中文摘要：
MEMS传感器是利用半导体技术、微电子技术以及超精密机械加工技术制造而成的高精度传感器，是多学科相互融合的高科技产物。MEMS传感器具有高灵敏度、高分辨率、高智能化、高集成化、低能耗、低成本等多种优势，如今在各个领域得到了广泛应用。在海洋观测工作中应用MEMS传感器技术可以推动该领域朝着智能化和网络化发展，文章主要就MEMS传感器技术在海洋观测中的应用展开论述。
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作者：
祁祥礼
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作者单位：
天津水运工程勘察设计院 天津 300456
关键词：
MEMS传感器
原理
海洋观测
应用
出版年：
2018
建筑工程技术与设计
建筑工程技术与设计
影响因子：
0.156
ISSN：
年,卷(期)：
2018.
(18)
参考文献量
4
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