建筑工程技术与设计2018，Issue(18) ：685.

浅析MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用

祁祥礼
建筑工程技术与设计2018，Issue(18) ：685.
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浅析MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用

祁祥礼1
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  • 1. 天津水运工程勘察设计院 天津 300456
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摘要

MEMS传感器是利用半导体技术、微电子技术以及超精密机械加工技术制造而成的高精度传感器，是多学科相互融合的高科技产物。MEMS传感器具有高灵敏度、高分辨率、高智能化、高集成化、低能耗、低成本等多种优势，如今在各个领域得到了广泛应用。在海洋观测工作中应用MEMS传感器技术可以推动该领域朝着智能化和网络化发展，文章主要就MEMS传感器技术在海洋观测中的应用展开论述。

关键词

MEMS传感器/原理/海洋观测/应用

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出版年

2018
建筑工程技术与设计

建筑工程技术与设计

影响因子：0.156
ISSN：
参考文献量4
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