浅析全金属密封超高真空插板阀密封结构

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摘要

真空阀门作为真空系统中的重要元件，起着至关重要的作用。插板阀具有流导大、重量轻、易安装等特点被广泛应用。随着科学进步，航天航空、新能源、半导体等领域的高速发展，应用于超高真空系统的阀门需求也越来越大。插板阀要应用于超高真空环境，密封材质必须满足超高真空技术的要求。因此，带来的密封结构设计选择是非常重要的。

关键词

全金属结构/插板阀/密封

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出版年

2018

建筑工程技术与设计

影响因子：0.156

ISSN：

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