浅析机械密封在蓝宝石长晶炉中的应用

王维川¹

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1. 南京晶升能源设备有限公司
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摘要

蓝宝石单晶炉的工况为高温，高真空环境。通常情况下真空密封都可以满足要求，而高压、高温的热水及其真空密封面却是一种很难密封的难题，如何为蓝宝石单晶炉提供价廉物美而性能又可靠的密封，长期以来困扰着单晶炉行业。热水容易发生汽化，同时热水的润滑性能很差，这些特性使得标准的密封设计很难满足热水工况的要求；同时在真空密封面上，由于冷却有限，密封面上温度较高，最大可达120℃，传统的真空密封结构难以满足此种要求。

关键词

蓝宝石/高纯水/密封/高压

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出版年

2018

建筑工程技术与设计

影响因子：0.156

ISSN：

参考文献量3

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