建筑与文化(学术版)2013，Issue(8) ：530-530,531.

光刻机基础防微振设计的新尝试

王飞
建筑与文化(学术版)2013，Issue(8) ：530-530,531.
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光刻机基础防微振设计的新尝试

王飞1
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作者信息

  • 1. 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司华东分院，无锡
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摘要

桩基一般未直接用于精密仪器基础的防微振设计，而用于强振时的主动隔振。本文考虑桩土共同作用，提高地基刚度和地基阻尼比，减小变形，避免发生共振。以光刻机基础防微振设计实例，并通过测试证实，桩基可用于防微振设计的新方法，可供类似的工程设计参考。

关键词

防微振/地面振动/共振

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出版年

2013
建筑与文化(学术版)
世纪图书出版公司

建筑与文化(学术版)

ISSN：1672-4909
参考文献量1
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