衬底温度对AZO薄膜晶体结构和光学性能的影响

李小鹏 ¹黄瀛 ¹韦小凤 ¹何欢 ¹符跃春 ¹沈晓明¹

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作者信息

1. 广西大学材料科学与工程学院广西南宁 530004
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摘要

采用脉冲激光沉积法(PLD)在玻璃基片上沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜，通过改变制备工艺中的衬底温度，对 AZO 薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究。结果表明，当衬底温度为200℃时, AZO薄膜沿（002）面择优取向生长，具有最好的结晶质量，薄膜表面平整且结构致密，并且呈现出排列均匀的纳米晶粒。同时发现，随着衬底温度从200℃升高至350℃，AZO 薄膜的禁带宽度逐渐增加。而在可见光范围内，衬底温度对AZO薄膜在可见光区透射率影响不大，透射率均在80%以上。

关键词

AZO薄膜/衬底温度/光学性能/透射率/禁带宽度

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出版年

2014

科技研究

ISSN：

参考文献量1

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