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真空多弧离子镀膜提高车刀强度
真空多弧离子镀膜提高车刀强度
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万方数据
中文摘要：
利用多弧离子镀技术、采用(Ti,Al)N 合金靶材在车刀上沉积(Ti,Al)N 超硬反应膜。系统地研究了沉积工艺（偏压、镀膜温度、反应气体压强、弧电流）对结合力的影响。根据正交试验法对沉积制定了合适的实验工艺。根据实验工艺制备了结合力较好的薄膜。
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作者：
张斌
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作者单位：
沈阳市盛达有色金属加工厂
关键词：
多弧离子镀
(Ti,Al)N硬质膜
结合力
出版年：
2014
科技研究
科技研究
ISSN：
年,卷(期)：
2014.
(8)
参考文献量
1
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