科技研究2014，Issue(8) ：589-589.

真空多弧离子镀膜提高车刀强度

张斌
科技研究2014，Issue(8) ：589-589.
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真空多弧离子镀膜提高车刀强度

张斌1
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  • 1. 沈阳市盛达有色金属加工厂
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摘要

利用多弧离子镀技术、采用(Ti,Al)N 合金靶材在车刀上沉积(Ti,Al)N 超硬反应膜。系统地研究了沉积工艺（偏压、镀膜温度、反应气体压强、弧电流）对结合力的影响。根据正交试验法对沉积制定了合适的实验工艺。根据实验工艺制备了结合力较好的薄膜。

关键词

多弧离子镀/(Ti,Al)N硬质膜/结合力

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出版年

2014
科技研究

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ISSN：
参考文献量1
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