摘要
针对真空镀膜控制中的薄膜边缘检测问题，提出了一种基于 LabVIEW的图像测量方法，并将其实现为一个 LabVIEW 开发的上位机应用程序。该方法首先对实时的薄膜边缘图像进行加窗处理，然后通过图像边缘检测算法计算出薄膜边缘像素点坐标，最后将像素点坐标变换为薄膜实际的位置坐标，并将结果发送至PLC控制器。其中图像边缘检测算法程序使用LabVIEW IMAQ Vision工具包开发，与PLC控制器的通讯采用OPC通讯方式。实验结果表明，该方法的实时性和检测精度完全可以满足真空镀膜控制的工艺要求，与其它真空位置检测方法相比，可以实现非接触式实时位置检测，从而简化机械装置的设计，并且可以得到连续的位置坐标数据，提高自动控制效果。
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