摘要
膜片式FP光纤压力传感器因其独特的优点广泛应用在国防军事、健康监测、生物医学等领域。本文首先简单介绍了FP光纤压力传感器的工作原理，然后对二氧化硅膜片、镀银膜片、石墨烯膜片和壳聚糖膜片压力传感器的膜片制作方法和传感器结构进行了总结，并分析了不同材料的膜片的性能及其优缺点，同时对以上膜片式FP光纤压力传感器分别进行了压力和温度敏感特性测试，得到其压强灵敏度和温度灵敏度。实验结果表明：二氧化硅膜片压力传感器在压强范围为0~40 kPa的灵敏度为3.4 nm/kPa；镀银膜片的压强灵敏度在0-50 kPa时达到70.5nm/kPa，具有很好的线性特征，并且温度灵敏度在30~80°C间为39.3nm/°C；石墨烯膜片压力传感器在压强为0~5kPa时，其压力灵敏度在36~63 nm/kPa之间；壳聚糖膜片压力传感器的压强灵敏度为25.65nm/kPa，分辨率为7.8pa，温度灵敏度为0.015nm/°C。
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