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多线切割机的现状及发展趋势
多线切割机的现状及发展趋势
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中文摘要:
线切割技术在硅晶加工行业中的成熟应用,极大地满足了光伏市场对大尺寸和相对较高表面质量硅片的需要,同时,也顺应市场需求大幅降低了硅片的加工成本。文章对用于硅片加工的多线切割机的现状、代表机型及发展趋势作了简要介绍。
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作者:
蒋超
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作者单位:
中国电子科技集团公司第四十八研究所 410111
关键词:
多线切割机
现状
发展趋势
出版年:
2014
科技研究
科技研究
ISSN:
年,卷(期):
2014.
(16)
参考文献量
3