科技研究2014，Issue(21) ：176-177.

一种采用灰度补偿制提高光刻曝光能量均匀性的方法

徐珍华 韩建威 冉坐 李源
科技研究2014，Issue(21) ：176-177.
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一种采用灰度补偿制提高光刻曝光能量均匀性的方法

徐珍华 1韩建威 1冉坐 1李源1
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  • 1. 中山新诺科技股份有限公司 528437
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摘要

本论文提出了一种采用灰度补偿制提高光刻曝光能量均匀性的装置的制作方法。该发明改进了现有装置的不足之处，提高了光刻扫描曝光过程的均匀性，同时易于实现。

关键词

灰度补偿/曝光/能量/均匀性

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出版年

2014
科技研究

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ISSN：
参考文献量1
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