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一种采用灰度补偿制提高光刻曝光能量均匀性的方法

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本论文提出了一种采用灰度补偿制提高光刻曝光能量均匀性的装置的制作方法。该发明改进了现有装置的不足之处，提高了光刻扫描曝光过程的均匀性，同时易于实现。

徐珍华、韩建威、冉坐、李源

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中山新诺科技股份有限公司 528437

灰度补偿 曝光 能量 均匀性

2014

科技研究

科技研究

ISSN：
年,卷(期)：2014.(21)
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