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YAG:Ce薄膜制备方法的研究进展
YAG:Ce薄膜制备方法的研究进展
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中文摘要:
主要介绍了 YAG:Ce3+荧光薄膜的制备技术研究现状。综述了目前常用的制备 YAG:Ce 薄膜的方法,包括液相外延法、激光脉冲沉积法、射频磁控溅射法、电泳沉积法、溶胶凝胶法等几种方法的国内外新进展,并详述了每种方法的优缺点。
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作者:
孟俊杰
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作者单位:
广州市光机电技术研究院 广州 510000
关键词:
YAG:Ce3+1
荧光薄膜2
研究进展3
基金:
2013年广州市应用基础研究专项资助项目
项目编号:
2013J4100122
出版年:
2014
科技研究
科技研究
ISSN:
年,卷(期):
2014.
(23)