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飞秒激光微加工技术的现状与发展趋势

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近年来，飞秒激光微加工技术被越来越广泛地应用于机电、光学、生物等领域。本文通过具有代表性的飞秒激光微加工国内专利案件，从微加工制件类型、微加工材质、微加工装置三个方面对飞秒激光微加工技术的现状与发展趋势进行了分析。

王珏

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国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心 北京 100190

飞秒激光 微加工 专利分析

2014

科技研究

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ISSN：
年,卷(期)：2014.(24)
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