科技研究2014，Issue(24) ：107-107.

飞秒激光微加工技术的现状与发展趋势

王珏
科技研究2014，Issue(24) ：107-107.
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飞秒激光微加工技术的现状与发展趋势

王珏1
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  • 1. 国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心 北京 100190
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摘要

近年来，飞秒激光微加工技术被越来越广泛地应用于机电、光学、生物等领域。本文通过具有代表性的飞秒激光微加工国内专利案件，从微加工制件类型、微加工材质、微加工装置三个方面对飞秒激光微加工技术的现状与发展趋势进行了分析。

关键词

飞秒激光/微加工/专利分析

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出版年

2014
科技研究

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ISSN：
参考文献量1
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