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高通量三维微化工芯片激光制造及应用研究

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程亚、徐剑、吴淼、李晓龙、李欣、胡鸣

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华东师范大学,上海 200241

2024

10.3772/j.issn.1673-6516.2024.10.022

科技成果管理与研究
中国科技成果管理研究会　中国科学技术信息研究所

科技成果管理与研究

CHSSCD
影响因子：0.042
ISSN：1673-6516
年,卷(期)：2024.19(10)