科技成果管理与研究2024，Vol.19Issue(10) ：70-73.DOI:10.3772/j.issn.1673-6516.2024.10.022

高通量三维微化工芯片激光制造及应用研究

程亚 徐剑 吴淼 李晓龙 李欣 胡鸣
科技成果管理与研究2024，Vol.19Issue(10) ：70-73.DOI:10.3772/j.issn.1673-6516.2024.10.022
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高通量三维微化工芯片激光制造及应用研究

程亚 1徐剑 1吴淼 1李晓龙 1李欣 1胡鸣1
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作者信息

  • 1. 华东师范大学,上海 200241
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出版年

2024
科技成果管理与研究
中国科技成果管理研究会　中国科学技术信息研究所

科技成果管理与研究

CHSSCD
影响因子：0.042
ISSN：1673-6516
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