掌握核心技术创新推动发展

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中文摘要：沈阳拓荆科技有限公司成立于2010年4月，是国内唯一一家能够生产用于大规模集成电路生产线的量产型PECVD设备供应商。公司致力于研究和生产世界领先的极大规模集成电路行业专用薄膜设备，矢志成为纳米级薄膜制造技术解决方案的领导者，确立以世界最先进的薄膜技术服务于全球客户的理念，建立一个国际化的薄膜制备企业。

作者：

孙雪松、彭海娇

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作者单位：

沈阳拓荆科技有限公司

关键词：

制造技术大规模集成电路纳米级薄膜创新集成电路行业设备供应商 PECVD 生产线

出版年：

2012

科技成果纵横

中国技术市场协会沈阳市科技成果转化与推广促进会

科技成果纵横

影响因子：0.208

ISSN：1005-5096

年,卷(期)：2012.(6)

掌握核心技术 创新推动发展

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