激光干涉技术在硬度计量中的应用研究

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中文摘要：激光干涉技术通过将激光束进行偏振干涉，形成两束同频同幅、相位不同的光束，测量光束的相位随着主轴和压头的移动而发生变化，这也为压入深度和硬度的测量提供了可能。本文首先介绍了激光干涉技术进行硬度测量的原理，然后设计了采用偏振干涉仪的激光干涉装置，通过采用15.825nm的测量单位可以精确的获得压头雅图标准硬度块的深度，进而换算出硬度值，经过验证具有较小的不确定度。

作者：

姚明、李俊

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作者单位：

苏州市计量测试研究所力学检测室江苏苏州 215128

关键词：

激光干涉技术硬度计量偏振干涉仪应用

出版年：

2014

科技创业家

国家科技部《大众科技报社》

科技创业家

ISSN：2095-1043

年,卷(期)：2014.(1)

参考文献量5