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面向实验室的硅片传输机械手的研制

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为了提高半导体实验室中的小尺寸硅片工艺操作效率，提出一种气压驱动方式的特殊硅片传输机械手，并以PLC为核心的控制系统设计方案。经试验证明：采用该型硅片传输机械手后，小尺寸硅片实验操作效率得到提高，且在实验过程中避免了二次污染。

田野、陈丁

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西安工业大学北方信息工程学院 光电信息系 陕西西安 710032

西安黄河机电有限公司设计研究所 陕西西安 710043

硅片 半导体 机械手 PLC 气压驱动 超净实验室

2014

科技创业家
国家科技部《大众科技报社》

科技创业家

ISSN：2095-1043
年,卷(期)：2014.(6)
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