科技创业家2014，Issue(6) ：139-139.

面向实验室的硅片传输机械手的研制

田野 陈丁
科技创业家2014，Issue(6) ：139-139.
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面向实验室的硅片传输机械手的研制

田野 1陈丁2
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作者信息

  • 1. 西安工业大学北方信息工程学院 光电信息系 陕西西安 710032
  • 2. 西安黄河机电有限公司设计研究所 陕西西安 710043
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摘要

为了提高半导体实验室中的小尺寸硅片工艺操作效率，提出一种气压驱动方式的特殊硅片传输机械手，并以PLC为核心的控制系统设计方案。经试验证明：采用该型硅片传输机械手后，小尺寸硅片实验操作效率得到提高，且在实验过程中避免了二次污染。

关键词

硅片/半导体/机械手/PLC/气压驱动/超净实验室

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出版年

2014
科技创业家
国家科技部《大众科技报社》

科技创业家

ISSN：2095-1043
参考文献量3
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