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离子束溅射沉积—刻蚀作用下KDP晶体表面粗糙度研究

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为了消除单点金刚石车削(SPDT)后KDP晶体表面留下的周期性小尺度波纹,文章探索采用离子束溅射沉积-刻蚀的方法对车削后KDP晶体进行抛光加工.本文主要分析了平坦化层材料的选择,溅射沉积工艺参数对KDP晶体平坦化层粗糙度的影响,并计算了平坦化层刻蚀速率从而完成了刻蚀转移.利用刻蚀转移成功地将单点金刚石车削后的表面由初始的6.54nmRMS,经过1.76nmRMS的平坦化层,最终刻蚀转移到KDP晶体表面得到1.84nmRMS的光滑表面,实验结果验证了离子束溅射沉积—刻蚀抛光方法的可行性.

王泉、刘卫国、周顺

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西安工业大学 陕西西安710021

KDP晶体 离子束溅射沉积 离子束刻蚀 表面粗糙度

国防基础科研项目陕西省教育厅重点实验室科研计划项目

JCKY2016208A00214JS027

2018

科技风
河北省科技咨询服务中心

科技风

影响因子：0.049
ISSN：1671-7341
年,卷(期)：2018.(21)
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