膜去溶和ICP-MS联用热焰模式直接测定CMOSIII甲醇中金属离子的含量

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中文摘要：文章建立了直接测定半导体三级甲醇多元素含量的方法。以膜去溶作为进样系统，四级杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）作为分析仪器，采用热焰模式分析。首先测定CMOSIII甲醇，然后测定以Be,Co,In,Bi作为加标的CMOSIII甲醇，加标样品测定加标回收率，同时测定Na,Mg,K,Ca,Fe的检出限。实验结果证明该方法具有进样速度快、精密度高等优点。热焰模式提高了碳的燃烧度，溶液中离子电离效率得到提升，降低了锥孔碳的积累，仪器信号漂移变缓，提高了准确度。膜去溶与ICP-MS联用是快速分析半导体三级甲醇中金属离子的有效方法，膜去溶的使用解决了常规雾化器进样容易熄火的问题，有效的减小了基体干扰，同时热焰模式提高了仪器的整体灵敏度。

作者：

赵淑兰、李海燕、刘国强、刘毅春、方晓红、董天姿

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作者单位：

内蒙古自治区矿产实验研究所

关键词：

甲醇电感耦合等离子体质谱仪膜去溶热焰多元素

出版年：

2014

科技信息

山东省技术开发服务中心

科技信息

影响因子：0.15

ISSN：1001-9960

年,卷(期)：2014.(10)

被引量1
参考文献量7