基于闭环加速度检测系统的MEMS加速度传感器模型

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中文摘要：本文针对体硅梳齿结构的电容式加速度传感器进行建模,考虑到了极板间静电力影响,对闭环反馈式加速度检测系统的设计及调节提供了可能及便利；基于VerilogA对该模型进行描述,使其能够和主流的IC电路设计工具进行兼容,对于系统功能搭建及性能的调节具有直接性,便利性.根据仿真结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,尤其对闭环加速度计检测系统的设计提供有效的帮助.

作者：

黄廷昭、童成盛、万培元、林平分

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作者单位：

北京工业大学北京市嵌入式系统重点实验室,中国北京100124

关键词：

MEMS加速度计 VerilogA 静电力闭环反馈

出版年：

2014

科技信息

山东省技术开发服务中心

科技信息

影响因子：0.15

ISSN：1001-9960

年,卷(期)：2014.(11)

被引量1
参考文献量4