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薄膜结合能测量技术的最新进展

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薄膜目前被广泛应用于各种高科技领域中。薄膜的力学性能，尤其是结合能，决定了薄膜器件的力学稳定性、抗疲劳能力及其使用寿命，因而对薄膜结合能的精确测定显得尤为重要。作者简要介绍了薄膜结合能测定的几种传统方法，包括划痕法、压印法、拉伸法、鼓泡法和剥离法。在此基础上，作者综述了最新发展起来的基于薄膜在载荷下发生形变的翘曲法，对该方法的测量原理、力学机制和适用范围进行了深入讨论。

冯宇飞、陈旗湘、马亮、王佳荣、余森江

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中国计量学院应用物理系

薄膜 结合能 翘曲 力学性能 测量技术

浙江省大学生科技创新项目国家自然科学基金资助课题

2013R40903211204283

2014

科技信息
山东省技术开发服务中心

科技信息

影响因子：0.15
ISSN：1001-9960
年,卷(期)：2014.(12)
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