科技信息2017，Issue(6) ：118,124.

脉冲光纤激光直写金属薄膜电阻实验研究

林瑞芬
科技信息2017，Issue(6) ：118,124.
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脉冲光纤激光直写金属薄膜电阻实验研究

林瑞芬1
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  • 1. 广东风华高新科技股份有限公司 广东肇庆 526000
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摘要

现阶段,在对薄膜电阻膜层利用激光直写时,杂质污染问题容易出现,同时薄膜层的粗糙度与厚度很难降低.为解决上述问题,对激光直写微电路性能进行改善,进行相关试验,对激光光斑能量分布及薄膜线宽关系进行分析,获取比光斑直径小的线宽导电薄膜.从试验结果来看,降低离焦量或增加扫描速度,会降低导线宽度与光斑重叠率.同时,功率过高可能导致烧蚀损坏薄膜,而功率过低,又难以熔化靶材.

关键词

脉冲光纤激光/激光直写/金属薄膜/微电路

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出版年

2017
科技信息
山东省技术开发服务中心

科技信息

影响因子：0.15
ISSN：1001-9960
参考文献量3
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