脉冲光纤激光直写金属薄膜电阻实验研究

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中文摘要：现阶段,在对薄膜电阻膜层利用激光直写时,杂质污染问题容易出现,同时薄膜层的粗糙度与厚度很难降低.为解决上述问题,对激光直写微电路性能进行改善,进行相关试验,对激光光斑能量分布及薄膜线宽关系进行分析,获取比光斑直径小的线宽导电薄膜.从试验结果来看,降低离焦量或增加扫描速度,会降低导线宽度与光斑重叠率.同时,功率过高可能导致烧蚀损坏薄膜,而功率过低,又难以熔化靶材.

作者：

林瑞芬

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作者单位：

广东风华高新科技股份有限公司广东肇庆 526000

关键词：

脉冲光纤激光激光直写金属薄膜微电路

出版年：

2017

科技信息

山东省技术开发服务中心

科技信息

影响因子：0.15

ISSN：1001-9960

年,卷(期)：2017.(6)

参考文献量3