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ISS9010型蓝宝石晶体生长炉的研制
ISS9010型蓝宝石晶体生长炉的研制
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中文摘要：
本文主要介绍一种采用独特的LSG工艺技术生长大尺寸高质量蓝宝石晶体的新型设备的设计思路以及工作原理，结合晶体生长的特殊工艺要求，分析了其主要结构和特点。
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作者：
张国华
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作者单位：
上海昀丰新能源科技有限公司 中国 上海 201201
关键词：
蓝宝石
KY泡生法
晶体生长炉
出版年：
2015
科技致富向导
中国科学技术协会科普部,山东省科学技术协会
科技致富向导
影响因子：
0.698
ISSN：
1007-1547
年,卷(期)：
2015.
(5)
参考文献量
3
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