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三氯氢硅提纯中如何去除磷硼杂质

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在三氯氢硅中，磷、硼杂质的存在，不仅影响三氯氢硅材料质量，也降低三氯氢硅产能。优化三氯氢硅提纯工艺，去除对磷、硼杂质，不仅可以降低能耗，也可以更好的控制三氯氢硅质量，提高产能。以下本篇浅析在三氯氢硅提纯中如何去除磷硼杂质。

张友谊

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河南理工大学物理化学学院焦作煤业<集团>开元化工有限责任公司 河南 焦作 454191

提纯 三氯氢硅 除硼 除磷

2015

科技致富向导
中国科学技术协会科普部,山东省科学技术协会

科技致富向导

影响因子：0.698
ISSN：1007-1547
年,卷(期)：2015.(8)
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