科技纵览2024，Issue(4) ：68-70.

铈基抛光材料的化学机械抛光应用

梅燕
科技纵览2024，Issue(4) ：68-70.
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铈基抛光材料的化学机械抛光应用

梅燕1
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作者信息

  • 1. 北京工业大学材料与制造学部
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基金项目

国家重点研发计划(2021YFB3501102)

出版年

2024
科技纵览
中国科学技术信息研究所,科学技术文献出版社

科技纵览

ISSN：2095-4409
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