光学材料加工亚表面损伤检测及控制关键技术

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中文摘要：通常情况下,传统的光学加工过程对亚表面会造成一定程度的损伤,导致光学元件的使用性命和寿命降低,因此,对亚表面损伤进行检测是非常有必要的.本文通过对破坏性检测和非破坏性检测两个方面来分析光学元件亚表面损伤检测技术,并详细探讨了各种检测方法的优缺点.将国内的亚表面损伤检测技术与国际先进水平相比较,找出它们之间的差距,另外,本文还对亚表面损伤检测技术的发展趋势进行了分析与探讨.

作者：

马明毅

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作者单位：

河北大学物理科学与技术学院,河北保定071002

关键词：

光学材料加工亚表面损伤检测及控制技术

出版年：

2017

科技展望

宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289

年,卷(期)：2017.27(1)

参考文献量3