科技展望2017，Vol.27Issue(5) ：275,277.

激光束成形专利分析

于群 任倩倩 涂兵伟
科技展望2017，Vol.27Issue(5) ：275,277.
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激光束成形专利分析

于群 1任倩倩 1涂兵伟1
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作者信息

  • 1. 国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心,广东 广州510000
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摘要

在激光切割半导体领域,激光束的成形部分对切割质量和切割效率有着直接且重要的影响.而该领域,激光束的成形部分又包括了激光点的整形,激光束能量的控制和分束聚焦三个重要的技术分支.

关键词

激光束/成形/专利/分析

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出版年

2017
科技展望
宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289
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