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激光束成形专利分析

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在激光切割半导体领域,激光束的成形部分对切割质量和切割效率有着直接且重要的影响.而该领域,激光束的成形部分又包括了激光点的整形,激光束能量的控制和分束聚焦三个重要的技术分支.

于群、任倩倩、涂兵伟

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国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心,广东 广州510000

激光束 成形 专利 分析

2017

科技展望
宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289
年,卷(期)：2017.27(5)