科技展望2017，Vol.27Issue(6) ：50.

ATO薄膜制备工艺概述

曾凡菊 陈广萍
科技展望2017，Vol.27Issue(6) ：50.
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ATO薄膜制备工艺概述

曾凡菊 1陈广萍1
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作者信息

  • 1. 凯里学院物理与电子工程学院,贵州 凯里 556011
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摘要

本文对ATO(SnO2:Sb)薄膜的制备工艺行了概述,总结了制备工艺对薄膜的影响.进而笔者进一步采用溶胶凝胶法制备了Ce掺杂ATO薄膜,结果表明:适量的Ce掺杂ATO薄膜能提高薄膜的可见光透过率以及改善薄膜的电导率

关键词

ATO(/SnO2:Sb)薄膜/制备工艺/Ce掺杂ATO薄膜

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基金项目

2016年度贵州省科技厅、黔东南州科技局、凯里学院科技合作协议项目(黔科合LH字[2016]7318号)

出版年

2017
科技展望
宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289
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