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ATO薄膜制备工艺概述

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本文对ATO(SnO2:Sb)薄膜的制备工艺行了概述,总结了制备工艺对薄膜的影响.进而笔者进一步采用溶胶凝胶法制备了Ce掺杂ATO薄膜,结果表明:适量的Ce掺杂ATO薄膜能提高薄膜的可见光透过率以及改善薄膜的电导率

曾凡菊、陈广萍

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凯里学院物理与电子工程学院,贵州 凯里 556011

ATO( SnO2:Sb)薄膜 制备工艺 Ce掺杂ATO薄膜

2016年度贵州省科技厅、黔东南州科技局、凯里学院科技合作协议项目

黔科合LH字[2016]7318号

2017

科技展望
宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289
年,卷(期)：2017.27(6)