从专利技术看MEMS红外探测器研究重点

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中文摘要：红外成像技术已经广泛应用在人类生活的各个领域,随着MEMS技术的发展,MEMS红外探测器已经成为红外成像技术的研究重点,本文介绍了红外探测器的分类,并重点介绍了MEMS红外探测器中的热电堆红外探测器和光学读出型红外探测器的工作原理,并通过几个典型的专利案例展示了近年来MEMS红外探测器的设计思路和发展方向.

作者：

裴芳莹

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作者单位：

国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心,天津 300304

关键词：

红外成像红外探测器 MEMS 热电堆光学读出

出版年：

2017

科技展望

宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289

年,卷(期)：2017.27(8)

参考文献量1