科技展望2017，Vol.27Issue(10) ：140.

光刻技术在微电子设备中的应用分析

王瀚霆
科技展望2017，Vol.27Issue(10) ：140.
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光刻技术在微电子设备中的应用分析

王瀚霆1
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作者信息

  • 1. 大连东软信息学院,辽宁 大连 116032
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摘要

随着科学技术进步,这些年我国光刻技术迅速发展,广泛应用于集成电路生产中,已经具备相对完善的光刻技术.相应不久的将来光刻技术会有长远发展.有鉴于此,本文中笔者以光刻技术为研究对象,分析其在微电子设备的中应用.希望通过本文论述为行业技术进步贡献一份力量.

关键词

光刻技术/微电子设备/技术应用

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出版年

2017
科技展望
宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289
参考文献量2
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