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光刻技术在微电子设备中的应用分析
光刻技术在微电子设备中的应用分析
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中文摘要：
随着科学技术进步,这些年我国光刻技术迅速发展,广泛应用于集成电路生产中,已经具备相对完善的光刻技术.相应不久的将来光刻技术会有长远发展.有鉴于此,本文中笔者以光刻技术为研究对象,分析其在微电子设备的中应用.希望通过本文论述为行业技术进步贡献一份力量.
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作者：
王瀚霆
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作者单位：
大连东软信息学院,辽宁 大连 116032
关键词：
光刻技术
微电子设备
技术应用
出版年：
2017
科技展望
宁夏科技信息研究所
科技展望
ISSN：
1672-8289
年,卷(期)：
2017.
27
(10)
参考文献量
2
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