科技展望2017，Vol.27Issue(21) ：95.

多晶硅工艺废气回收利用研究

张志刚 蒋国瑜 张升学
科技展望2017，Vol.27Issue(21) ：95.
✕
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据

多晶硅工艺废气回收利用研究

张志刚 1蒋国瑜 1张升学1
扫码查看

作者信息

  • 1. 中国恩菲工程技术有限公司,北京 100038
  • 折叠

摘要

多晶硅生产过程产生的工艺废气中含有氯硅烷、氮气、氢气、氯化氢等,传统的淋洗塔淋洗后废气放空的方法,造成了大量的氯硅烷的浪费、三废淋洗塔用水量大、污染物排放量大等问题.本文通过对多晶硅工艺废气的成分分析,研究了一种新的方法将废气中氯硅烷回收,同时从根本上解决废气和废水中氯离子回收的问题,对多晶硅生产的经济效益和环境保护都有积极的作用.

关键词

多晶硅/工艺废气/氯回收

引用本文复制引用

出版年

2017
科技展望
宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289
被引量2
参考文献量5
段落导航相关论文