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CF ITO成膜特征值影响因子分析
CF ITO成膜特征值影响因子分析
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中文摘要:
面向电视、笔记本电脑的彩色滤光片(CF)在制备1500A厚度的氧化铟锡(ITO)层时,要求其具有80%以上的高透过率、小于100Ω/□低面电阻特性.靶材寿命在初期与末期时的存在靶材-磁芯间隙降低,成膜厚度增加,需控制电源输入功率.面阻值随着氧气比例升高会呈现先降低、再升高的变化,而透过率在各波段则呈现不同斜率的增加,氧气比例设定在2~4%以兼顾面阻值、透过率.此外,成膜压力0.3Pa较0.2Pa可提高透过率约1.5%,中温较室温成膜可以提升面阻值均一性.
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作者:
朱廷
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作者单位:
南京中电熊猫液晶材料科技有限公司,江苏 南京 210033
关键词:
CF
ITO
特征值
出版年:
2017
科技展望
宁夏科技信息研究所
科技展望
ISSN:
1672-8289
年,卷(期):
2017.
27
(29)
参考文献量
2