CF ITO成膜特征值影响因子分析

朱廷¹

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1. 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司,江苏南京 210033
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摘要

面向电视、笔记本电脑的彩色滤光片(CF)在制备1500A厚度的氧化铟锡(ITO)层时,要求其具有80%以上的高透过率、小于100Ω/□低面电阻特性.靶材寿命在初期与末期时的存在靶材-磁芯间隙降低,成膜厚度增加,需控制电源输入功率.面阻值随着氧气比例升高会呈现先降低、再升高的变化,而透过率在各波段则呈现不同斜率的增加,氧气比例设定在2~4%以兼顾面阻值、透过率.此外,成膜压力0.3Pa较0.2Pa可提高透过率约1.5%,中温较室温成膜可以提升面阻值均一性.

关键词

CF/ITO/特征值

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出版年

2017

科技展望

宁夏科技信息研究所

科技展望

ISSN：1672-8289

参考文献量2

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