科技创新导报2022，Vol.19Issue(4) ：34-36.DOI:10.16660/j.cnki.1674-098X.2201-5640-2024

电容薄膜真空计膜片建模与仿真

申亚东
科技创新导报2022，Vol.19Issue(4) ：34-36.DOI:10.16660/j.cnki.1674-098X.2201-5640-2024
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电容薄膜真空计膜片建模与仿真

申亚东1
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作者信息

  • 1. 中核第七研究设计院有限公司 山西太原 030012
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摘要

电容薄膜真空计包括有两个部分:传感器部分及检测电路部分.传感器内部感压元件是整个真空计的核心部分,该部件的性能优劣直接关系到整个真空计性能的好坏.本文选用恒弹性合金Inconel 600、3J53两种材料为感压膜片备选材料,并依靠有限元分析软件ANSYS进行感压膜片机械属性的分析,通过对两种薄膜材料的挠度、预张力等特性比较后,最终确定Inconel 600材料作为膜片的备选材料较为合适.

关键词

电容薄膜真空计/感压膜片/挠度/预张力/有限元软件

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出版年

2022
科技创新导报
中国宇航出版社 中国合作创新国际科技服务中心

科技创新导报

影响因子：0.455
ISSN：1674-098X
参考文献量3
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