电容薄膜真空计膜片建模与仿真

扫码查看

原文链接

NETL
NSTL
维普
万方数据

中文摘要：电容薄膜真空计包括有两个部分:传感器部分及检测电路部分.传感器内部感压元件是整个真空计的核心部分,该部件的性能优劣直接关系到整个真空计性能的好坏.本文选用恒弹性合金Inconel 600、3J53两种材料为感压膜片备选材料,并依靠有限元分析软件ANSYS进行感压膜片机械属性的分析,通过对两种薄膜材料的挠度、预张力等特性比较后,最终确定Inconel 600材料作为膜片的备选材料较为合适.

作者：

申亚东

展开 >

作者单位：

中核第七研究设计院有限公司山西太原 030012

关键词：

电容薄膜真空计感压膜片挠度预张力有限元软件

出版年：

2022

DOI：

10.16660/j.cnki.1674-098X.2201-5640-2024

科技创新导报

中国宇航出版社中国合作创新国际科技服务中心

科技创新导报

影响因子：0.455

ISSN：1674-098X

年,卷(期)：2022.19(4)

参考文献量3