摘要
在各种气体传感器中,基于金属半导体的气体传感器具有独特的优势.与其他传感器相比,基于金属氧化物半导体的气体传感器既便宜又易于制造,此外,它还具有响应速度快、恢复速度快、灵敏度高等优点,具有很大的应用潜力.常见的金属氧化物材料有ZnO、SnO2、WOx等,其中,氧化钨(WOx)由于其优异的电学和光学性能被广泛应用于传感、催化、电池等领域.本文总结了氧化钨(WOx)的合成和结构,着重概括了化学计量的WO3及亚化学计量的氧化钨(WO3-x,0<x<1)在气体传感器领域的研究现状和进展,并整理了相关气敏传感机理,最后展望了WOx基传感器的发展趋势.
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