科技创新导报2022,Vol.19Issue(27) :75-78.DOI:10.16660/j.cnki.1674-098X.2205-5640-0459

压力传感器的设计及测试分析

Design and Test Analysis of Pressure Sensor

于洋 张艳华
科技创新导报2022,Vol.19Issue(27) :75-78.DOI:10.16660/j.cnki.1674-098X.2205-5640-0459

压力传感器的设计及测试分析

Design and Test Analysis of Pressure Sensor

于洋 1张艳华1
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  • 1. 北京强度环境研究所 北京 100076
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摘要

压力传感器作为众多传感器类型中的一种,被广泛应用于工业生产、医疗、环境监测及航空航天领域.为进一步提升压力传感器的精度和性能,在扩大其应用范围的同时,根据应用场景,完成压力传感器的定制化设计;在对压力传感器基本概述的基础上,重点对压阻式压力传感器的基本结构、结构参数及封装形式进行设计;最后,建立压阻式压力传感器测试系统,对其性能和精度进行测试,为后续压力传感器的定制化应用奠定基础.

关键词

压力传感器/压敏电阻/MEMS/CMOS/灵敏度

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出版年

2022
科技创新导报
中国宇航出版社 中国合作创新国际科技服务中心

科技创新导报

影响因子:0.455
ISSN:1674-098X
参考文献量3
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