压力传感器的设计及测试分析

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中文摘要：压力传感器作为众多传感器类型中的一种，被广泛应用于工业生产、医疗、环境监测及航空航天领域。为进一步提升压力传感器的精度和性能，在扩大其应用范围的同时，根据应用场景，完成压力传感器的定制化设计;在对压力传感器基本概述的基础上，重点对压阻式压力传感器的基本结构、结构参数及封装形式进行设计;最后，建立压阻式压力传感器测试系统，对其性能和精度进行测试，为后续压力传感器的定制化应用奠定基础。

外文标题：Design and Test Analysis of Pressure Sensor

作者：

于洋、张艳华

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作者单位：

北京强度环境研究所北京 100076

关键词：

压力传感器压敏电阻 MEMS CMOS 灵敏度

出版年：

2022

DOI：

10.16660/j.cnki.1674-098X.2205-5640-0459