科学大众(科学教育)2021，Issue(11) ：71-72.

DLC薄膜的研究进展

李春伟
科学大众(科学教育)2021，Issue(11) ：71-72.
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DLC薄膜的研究进展

李春伟1
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作者信息

  • 1. 东北林业大学工程技术学院,黑龙江省150000
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摘要

DLC薄膜具有优异的综合性能,在分析DLC薄膜的结构和总结归纳DLC薄膜制备方法的基础上,阐述了DLC薄膜存在的问题和解决方法.

关键词

DLC薄膜/结构/制备方法/金属掺杂

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基金项目

出版年

2021
科学大众(科学教育)
江苏省科学技术协会

科学大众(科学教育)

影响因子：0.16
ISSN：1006-3315
参考文献量1
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