分析半导体光刻技术及设备的发展趋势

郭生华¹

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1. 沈阳芯源微电子设备股份有限公司辽宁沈阳 110168
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摘要

从科技和经济发展的角度来看,半导体具有十分重要的作用,在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明以及大功率电源转换等领域都有着广泛的应用.在当前信息化时代背景下,半导体对于人们的生活具有越来越大的影响.本文就以半导体光刻技术及设备的发展趋势为主题进行了分析探讨,希望能对我国相关企业的发展建设提供参考.

关键词

半导体材料/光刻技术及设备/发展趋势

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出版年

2020

科学与财富

四川省科教兴川促进会

科学与财富

ISSN：1671-2226

参考文献量2

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