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分析半导体光刻技术及设备的发展趋势
分析半导体光刻技术及设备的发展趋势
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万方数据
中文摘要：
从科技和经济发展的角度来看，半导体具有十分重要的作用，在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明以及大功率电源转换等领域都有着广泛的应用。在当前信息化时代背景下，半导体对于人们的生活具有越来越大的影响。本文就以半导体光刻技术及设备的发展趋势为主题进行了分析探讨，希望能对我国相关企业的发展建设提供参考。
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作者：
郭生华
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作者单位：
沈阳芯源微电子设备股份有限公司 辽宁 沈阳 110168
关键词：
半导体材料
光刻技术及设备
发展趋势
出版年：
2020
科学与财富
四川省科教兴川促进会
科学与财富
ISSN：
1671-2226
年,卷(期)：
2020.
12
(30)
参考文献量
2
万方数据
