增益分布不均匀、腔镜热变形和腔镜失调是影响激光模场的重要因素,为探究其影响规律,在MATLAB环境下对氧碘化学激光器进行数值仿真.仿真结果表明:非均匀增益分布会导致输出耦合镜上光强分布的均匀性降低,输出光斑填充因子(以下简称"填充因子")有所减小;随着激光辐照时间的持续,腔镜热变形量不断增大,腔镜上光斑逐步扩展,光强峰值下降,填充因子略微增大;随着腔镜倾斜角的增大,耦合输出环形光束光强分布将呈现一边强另一边弱,逐渐趋近一边无光现象,填充因子逐渐减小,且变化明显.分析认为腔镜倾斜失调对激光模场影响程度高于腔镜热变形带来的影响,为保持输出光斑的均匀性,应保证腔镜倾斜角小于10 μrad,同时在做腔内像差自适应校正时,首先应该考虑对倾斜像差的校正.