搬运高温晶圆的末端执行器结构优化设计

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中文摘要：首先,文章描述了晶圆传输机器人的几种末端执行器,并对其优缺点和应用场合进行分析;其次,利用Solidworks软件设计了高温环境下两种不同接触形式(凸点接触和斜边接触)的末端执行器结构,并对其接触特性、受力状态、晶圆自身变形情况进行分析;同时选择其中一种接触形式较优的末端执行器,设计了两种不同的结构,并对其进行静力学仿真分析,通过仿真分析得出结构较优和下垂量较小结构;最后通过模态分析得出该结构符合晶圆传输机器人的振动要求.研究结果表明,斜边接触形式且根部较宽的末端执行器为最优结构.

作者：

曲泉铀

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作者单位：

上海广川科技有限公司,上海 201900

关键词：

高温晶圆晶圆传输机器人末端执行器仿真

出版年：

2024

模型世界

体育博览杂志社

模型世界

影响因子：0.004

ISSN：1008-8016

年,卷(期)：2024.(12)