搬运高温晶圆的末端执行器结构优化设计

曲泉铀¹

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作者信息

1. 上海广川科技有限公司,上海 201900
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摘要

首先,文章描述了晶圆传输机器人的几种末端执行器,并对其优缺点和应用场合进行分析;其次,利用Solidworks软件设计了高温环境下两种不同接触形式(凸点接触和斜边接触)的末端执行器结构,并对其接触特性、受力状态、晶圆自身变形情况进行分析;同时选择其中一种接触形式较优的末端执行器,设计了两种不同的结构,并对其进行静力学仿真分析,通过仿真分析得出结构较优和下垂量较小结构;最后通过模态分析得出该结构符合晶圆传输机器人的振动要求.研究结果表明,斜边接触形式且根部较宽的末端执行器为最优结构.

关键词

高温晶圆/晶圆传输机器人/末端执行器/仿真

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出版年

2024

模型世界

体育博览杂志社

模型世界

影响因子：0.004

ISSN：1008-8016

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