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微机械隧道陀螺仪的设计

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提出了一种高精度低量程复合梁结构的新型隧道电流式陀螺仪,采用标准硅微加工技术进行了设计与加工,实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测量角速度原理的结合,从力学角度对陀螺仪的驱动梁与检测梁的力学特性进行了分析,对陀螺的基本原理进行了必要的模态和静力学仿真,仿真结果满足驱动与检测模态的要求.另外,制定了切实可行的工艺流程,阐述了加工所需要的关键工艺,重点研究了隧尖制造技术.
Design for Micromachine Tunneling Effect Gyroscope

张琼、石云波、马宗敏、罗源源、刘俊

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中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051

陀螺仪 隧道效应 加工工艺

国家自然科学基金

50675212

2009

纳米科技
西安纳米科技学会 陕西省电子学会纳米技术专业委员会

纳米科技

ISSN：1812-1918
年,卷(期)：2009.6(1)
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