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溶胶凝胶法制备ZnO-SnO2复合交替透明导电薄膜

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用溶胶凝胶法制备了ZnO-SnO2交替薄膜,具有工艺设备简单、后处理温度低、对衬底要求比较宽、易于定量掺杂等特点,通过X光电子能谱、紫外一可见吸收光谱和扫描电子显微镜对样品的组成及形貌等进行了分析与表征,测量发现,随着温度的升高薄膜的电阻变小,导电性变好.
Transparent and Conductive Films of SnO2-ZnO Alternate Multilayer Obtained by Sol-Gel Method
Sol-gel prepared by the turn of ZnO-SnO2 thin films,with process equipment easy,lowtemperature post-processing of the substrate require relatively wide,easy-quantitative characteristics of doped,Through X-ray photoelectron spectroscopy.UV-visible absorption spectroscopy and scanning electron microscopy of the composition and morphology of samples were analyzed and Characterization,surveying found that with increasing temperature the resistance of thin films become smaller,better conductivity.

sol-gelSnO2-ZnOtransparent conductive filmcurrent-voltage characteristics

李怀祥、秦洪武、周宏伟、崔洪泰、董川

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山东师范大学化学化工与材料科学学院,山东,济南,250014

山东师范大学物理与电子科学学院,山东,济南,250014

山西大学化学与化工学院,山西,太原,030006

溶胶-凝胶 二氧化锡-氧化锌 透明导电膜 电流-电压关系

国家自然科学基金山东省自然科学基金

60671010.50534100. 20775045Y2002G11

2009

纳米科技
西安纳米科技学会 陕西省电子学会纳米技术专业委员会

纳米科技

ISSN:1812-1918
年,卷(期):2009.6(1)
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