纳米金属多层膜的微结构热稳定性研究

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中文摘要：介绍了纳米金属多层膜的微结构热稳定性的实验和相关的理论基础及模拟计算,探讨了实验及模拟的发展前景,综述了纳米金属多层膜的微结构热稳定性研究的现状和发展趋势.

外文标题：Research on Thermal Stability of Nano-multilayered Thin Metallic Film Microstructure

作者：

沈志强、沈耀、蔡珣

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作者单位：

上海交通大学上海市激光制造与材料改性重点实验室,上海,200240

关键词：

纳米金属多层膜微结构热稳定性模拟

基金：

国家自然科学基金

项目编号：

50601018

出版年：

2009

纳米科技

西安纳米科技学会陕西省电子学会纳米技术专业委员会

ISSN：1812-1918

年,卷(期)：2009.6(1)